氦离子束纳米制造：极端工艺和应用

氦离子束（HIB）在极端纳米制造领域中发挥着重要作用。本文综述了氦离子束的最新进展及其极端工艺水平，以及在纳米制造中的广泛应用。基于氦离子束的纳米加工包括直写铣削，离子束诱导沉积和无需光刻胶辅助的直写光刻。氦离子束纳米尺度制造应用也已在集成电路，材料科学，纳米光学和生物科学领域得到评估。本文综述了四个氦离子束应用的方面：（1）用于生物试样和半导体的氦离子显微成像；（2）用于2D / 3D纳米孔制造的氦离子束铣削和溶胀；（3）氦离子束诱导沉积的纳米柱，纳米线和3D纳米结构制造；（4）光刻胶、石墨烯和等离子体纳米结构的附加氦离子束直写。最后，本文展望了氦离子束纳米制造技术巨大的应用前景和提升空间。