摘要: 目前激光作为各种材料加工合成的必要工具而被广泛应用，其中超快激光（飞秒激光和皮秒激光）常用来实现低环境负荷、高品质、高效率的材料制备。基于超快激光，已成功研发的技术包括：3D微/纳米制造技术、大纵横比加工技术、新型材料合成技术等，这些技术已经应用在生物芯片及高功能光子、电子微/纳米器件制造中。在这些技术中，本文对3D微/纳米制造技术进行介绍。飞秒激光具有极高峰值强度和超短脉冲宽度，可诱导激光波长下透明材料的非线性多光子吸收；更重要的是，透明材料中的飞秒激光束聚焦可将非线性相互作用限制在聚焦体积之内，从而实现3D微/纳米制造；这一3D制造能力可提供3种不同的加工制造策略：非变形制造、减材制造和增材制造；此外，通过不同策略的混合可以创造出复杂程度极高的3D结构并提升结构的功能。混合飞秒激光3D微/纳加工技术为材料加工打开了一扇新的大门。