二维材料自限激光结晶与直写

doi:10.1088/2631-7990/ab0edc

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2019年第1卷第1期

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Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).

引用:

Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).

二维材料自限激光结晶与直写

doi: 10.1088/2631-7990/ab0edc

详细信息

Electrical and Computer Engineering Department, Auburn University, United States of America

刊出日期: 2019-12-01

摘要

最新发现的原子级薄度包含过渡金属硫化物的二维量子材料显示出在未来光电子学、光子学、传感和能源应用方面的巨大潜力。二维材料在不同基底上的直接生长、图案化和集成是实现其在下一代器件中应用潜力的重要步骤。然而，传统的气相生长技术与直接图案化工艺并不兼容。本文提出基于激光的二维材料合成和加工方法，该方法依赖于化学计量非晶薄层（约3-5nm）的自限激光晶化（SLLC）。这项技术主要利用了非晶态和晶态MoS2不同相之间的光学特性显著差异，允许特定设计的激光二维材料相互作用，以达到高质量和宽加工窗口的自限晶化现象。这种独特的激光加工方法可以实现高质量的结晶、直写和图案化，并将各种二维材料集成到未来的功能器件中。
关键词
作者简介
Zabihollah Ahmadi，本文第一作者， Mahjouri-Samani教授团队的博士研究生。研究方向为研究和控制时空激光-材料的相互作用，用于二维和其他低维量子材料在各种基底上的直写和图案化，这在柔性电子和传感器件中具有潜在的应用。
Mahjouri-Samani教授，奥本大学电子与计算机工程系助教，分别于2008年和2013年获得内布拉斯加州林肯大学的学士和博士学位。加入奥本大学之前，他在美国橡树岭国家实验室纳米材料科学中心从事了四年的博士后研究。Mahjouri-Samani教授现领导奥本大学新兴纳米材料与器件的激光辅助工程科学研究团队（LASE-END）（http://wp.auburn.edu/Mahjouri/）。该研究团队重点开发新的激光合成、加工和原位诊断方法，使量子材料能够应用在纳米电子学、光电子学、光子学和传感应用中。该研究团队尤其关注空间、时间、光谱和能量分辨的激光量子材料相互作用，这些相互作用可实现可控加工和实时诊断。
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通讯作者: 陈斌, bchen63@163.com

1.
沈阳化工大学材料科学与工程学院沈阳 110142

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二维材料自限激光结晶与直写

doi: 10.1088/2631-7990/ab0edc

Electrical and Computer Engineering Department, Auburn University, United States of America

作者简介:

Zabihollah Ahmadi，本文第一作者， Mahjouri-Samani教授团队的博士研究生。研究方向为研究和控制时空激光-材料的相互作用，用于二维和其他低维量子材料在各种基底上的直写和图案化，这在柔性电子和传感器件中具有潜在的应用。

Mahjouri-Samani教授，奥本大学电子与计算机工程系助教，分别于2008年和2013年获得内布拉斯加州林肯大学的学士和博士学位。加入奥本大学之前，他在美国橡树岭国家实验室纳米材料科学中心从事了四年的博士后研究。Mahjouri-Samani教授现领导奥本大学新兴纳米材料与器件的激光辅助工程科学研究团队（LASE-END）（http://wp.auburn.edu/Mahjouri/）。该研究团队重点开发新的激光合成、加工和原位诊断方法，使量子材料能够应用在纳米电子学、光电子学、光子学和传感应用中。该研究团队尤其关注空间、时间、光谱和能量分辨的激光量子材料相互作用，这些相互作用可实现可控加工和实时诊断。

刊出日期: 2019-12-01

关键词:

2D materials /

direct laser writing /

laser crystallization

摘要:

最新发现的原子级薄度包含过渡金属硫化物的二维量子材料显示出在未来光电子学、光子学、传感和能源应用方面的巨大潜力。二维材料在不同基底上的直接生长、图案化和集成是实现其在下一代器件中应用潜力的重要步骤。然而，传统的气相生长技术与直接图案化工艺并不兼容。本文提出基于激光的二维材料合成和加工方法，该方法依赖于化学计量非晶薄层（约3-5nm）的自限激光晶化（SLLC）。这项技术主要利用了非晶态和晶态MoS2不同相之间的光学特性显著差异，允许特定设计的激光二维材料相互作用，以达到高质量和宽加工窗口的自限晶化现象。这种独特的激光加工方法可以实现高质量的结晶、直写和图案化，并将各种二维材料集成到未来的功能器件中。

English Abstract

Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).

引用本文:

Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).

Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).

Citation:

Ahmadi Z, Yakupoglu B, Azam N, Elafandi S, Mahjouri-Samani M. Self-limiting laser crystallization and direct writing of 2D materials. Int. J. Extrem. Manuf. 1, 015001 (2019).