摘要:

精度是制造业最重要的指标之一。高精度为工业产品创造高质量、高性能、互换性、可靠性和附加值。在过去的几十年中，高精度制造技术取得了巨大的飞跃，产品的形状精度达到纳米级，表面粗糙度达到原子级。这些极端精度的制造技术使高性能光学元件、半导体基板、生物医学部件等的飞速发展成为可能，从而增强了人类探索自然界宏观/微观奥秘和潜力的能力。本文综述了超精密切削、超精密磨削、确定性抛光和超光滑抛光等目前最先进的极端精度制造技术，对其原理、方法和应用进行了比较研究，并讨论了极端精度制造中的关键问题。本文可为今后的该领域的研发工作提供重要参考。