摘要: 克兰菲尔德大学发明并演示了一种独特的等离子成形（PF）工艺，以制造超大型望远镜。常压加工相对其它光整加工工艺更快、成本更低，因此为大型光学表面提供了一种重要的替代方法。工业规模制造成千上万的超精密米级光学器件，需要强大的等离子成形机，这一需求是通过使等离子传输系统性能具有可重复性来实现的。为满足工业需求，本研究提出了适用大型光学制造的专用等离子传输系统。该系统基于L型射频（RF）网络、电源供给和电感耦合等离子体喷枪。然而，这些技术的复杂性需要深入了解等离子系统中的集成组件。本研究为改进的等离子系统建立了智能控制系统，这种新型智能控制系统通过在线计量实现射频网络中关键电气元件的自动调谐，旨在进行确定性表征。本文介绍了设计的主要方面，并在电容与射频频率相关性良好的条件下对等离子体传输系统进行了测试。15小时测试中，稳定的等离子体传输系统可使等离子体稳定放电，且射频信号的偏差很小。