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氦离子束纳米制造:极端工艺和应用
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摘要: 氦离子束(HIB)在极端纳米制造领域中发挥着重要作用。本文综述了氦离子束的最新进展及其极端工艺水平,以及在纳米制造中的广泛应用。基于氦离子束的纳米加工包括直写铣削,离子束诱导沉积和无需光刻胶辅助的直写光刻。氦离子束纳米尺度制造应用也已在集成电路,材料科学,纳米光学和生物科学领域得到评估。本文综述了四个氦离子束应用的方面:(1)用于生物试样和半导体的氦离子显微成像;(2)用于2D / 3D纳米孔制造的氦离子束铣削和溶胀;(3)氦离子束诱导沉积的纳米柱,纳米线和3D纳米结构制造;(4)光刻胶、石墨烯和等离子体纳米结构的附加氦离子束直写。最后,本文展望了氦离子束纳米制造技术巨大的应用前景和提升空间。