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W-Ni-Fe合金化学机械抛光的理论与实验研究
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摘要: 为了提高模具和精密仪器零件的表面质量，需要对钨合金进行精加工。然而，由于两相微结构的性能差异导致晶界台阶的形成，很难获得高质量表面。本文对钨镍铁（W-Ni-Fe）合金的化学机械抛光进行了理论和实验研究，阐述了晶界台阶的形成机理，提出了晶界台阶的形成模型，揭示了机械和化学作用对表面粗糙度和材料去除率的影响。通过实验验证了模型的准确性，结果表明，通过平衡机械和化学作用可抑制晶界台阶的形成，从而获得高表面质量和高去除率。
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