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高灵敏度自供电压电与摩擦电触觉传感器制造方法

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    1. 文章导读本文综述了压电与摩擦电效应在高灵敏度自供电触觉传感器中的应用,介绍了提高压电常数(如退火工艺、掺杂技术、晶粒取向控制、结晶度调控及复合结构等)和摩擦电表面电荷密度(表面等离子体处理、电荷注入、微结构制备、介电常数调控及结构改性等)的方法,重点介绍了压电与摩擦电传感器在压力、触摸、弯曲、纹理、距离及材料识别传感器中的应用。最后,文章还讨论当前研究所面临的挑战与机遇,如柔韧性有限、可拉伸性不足、多刺激解耦困难、多功能传感器设计及数据处理等。

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