摘要:

综述 ● 开放获取阅读更多

1.文章导读

本综述系统地从飞秒激光同物质相互作用的基础原理和独特的现象出发，介绍了飞秒激光在透明材料加工中的多种应用实例。综述随后讨论了多种脉冲调制相关的高通量加工策略和基于光场整形的亚衍射极限超分辨加工技术，并聚焦于最新的4D智能加工微纳设备、激光诱导功能性材料的异质界面键合等新技术进展。文章介绍了飞秒激光微纳加工技术在微流控、芯片实验室、微型集成光子器件、纳米机器人和微型生物器件等领域的应用。综述最后总结了当下飞秒激光微纳加工技术面临的问题和挑战包括飞秒激光同物质作用机理依旧不明晰、热效应影响、工业应用局限性、加工精度受限等，并指出了该技术未来潜在的发展方向包括加工系统平台的改进、新型混合加工策略应用、新型复合材料的研发和使用、同材料作用新机理的研究以及AI光子学赋能的新型交叉综合学科应用领域。