基于薄膜的柔性物理传感器：从设计到应用
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1.文章导读
本文聚焦于薄膜基底柔性传感器的材料-结构-性能关联机制，综述了金属/非金属复合活性层与柔性基底的界面优化策略，揭示了微纳制造工艺对器件灵敏度与鲁棒性的调控机制。剖析了不同传感模型在动态应力检测中的物理极限，并进行了灵敏度与适应性分析。针对可穿戴医疗与机器人领域，指出超弹性导电网络构建、生物兼容封装及多物理场耦合传感等路径，为高密度柔性传感器的跨尺度制造提供了理论支撑。
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