新型高材料去除率绿色光催化化学机械抛光诱导制备原子级金刚石表面
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1. 文章导读
本文提出一种采用PB/TiO2复合催化剂、H2O2及金刚石磨料三元体系的单晶金刚石绿色光催化化学机械抛光方法。该方法将金刚石表层碳原子转化为非晶态氧化层，再通过机械方法去除。在pH 3.5实验条件下，获得了Sa 0.079 nm的超光滑表面，材料去除率达1168 nm/h，损伤层厚度仅0.66 nm。该方法为金刚石原子级表面加工提供了新方法。
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