综述 ● 开放获取阅读更多
1.文章导读
本文系统综述了用于提升柔性传感器性能的图案化微纳结构制造技术，包括打印技术、光刻与曝光技术、模具法、软光刻技术、纳米压印光刻技术及激光直写技术等。同时，介绍了柔性传感器性能的评估方法，并探讨了图案化结构对其性能的影响机制。最后，针对不同类型的柔性传感器，介绍了图案化制造技术的实际应用案例。文章还总结了这些技术在传感器性能提升中的作用，为柔性传感器图案化制造的未来发展提供了有价值的参考。
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