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1.文章导读
本文介绍了超薄单晶硅在生物电子学领域中的特点与应用，梳理了其从刚性到柔性转化的关键工艺，按照时间顺序，总结了晶圆级制造、硅膜转移及硬-软集成等阶段，系统分析了不同制造策略的技术特点及优劣势。进一步探讨了硅基柔性器件的制备路径，并总结了其在生物医学中的最新应用与挑战，为研究者和制造商提供了兼具实用性与参考价值的技术指导，凸显了超薄单晶硅在先进柔性生物电子学领域中的应用潜力。
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