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飞秒激光复刻成型技术实现大口径双波段增透光学窗口制造

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    1.文章导读


    中长波红外双波段探测技术具有多波段信息融合、抗干扰能力强、识别精度高的突出优势,在精确制导、遥感监测与安防侦察等关键领域应用广泛。作为探测系统的“眼睛”,具有表面增透微孔的双波段窗口能够进一步提升系统的探测性能。然而,要在百毫米级大口径窗口上,高效且高一致性地加工数十亿个增透微孔,是制约该技术走向大规模应用的制造难题。

    近期,中南大学机电工程学院段吉安教授团队通过飞秒激光复刻成型技术,融合机器学习辅助工艺调控,成功在口径100 mm的硫化锌窗口上制造了约70亿个周期性增透微孔,实现了超宽带(3.5–14 μm)和高透过率(>90%)增透窗口的制造突破。相关研究工作,以“Laser-optical-field-modulation fabricating large-aperture dual-band antireflection windows for MWIR and LWIR imaging”为题,发表在《极端制造(英文)》(International Journal of Extreme Manufacturing, IJEM)期刊上。

     

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    图1. 中长波红外双波段增透窗口的设计、制造及其应用。

    2.图文解析(创新研究/研究亮点/研究进展)

    本研究的创新之处在于,构建了中长波红外双波段增透窗口的“设计-制造-应用”技术链(图1),为共口径双波段探测提供了技术支撑。研究团队受蝽虫复眼的高光敏性、宽波段视野与热源追踪特性的启发,提出了基于亚波长微结构的双波段增透新思路。通过结合等效介质理论与时域有限差分法,构建了光场仿真模型,系统揭示了微孔结构参数对透射性能的影响规律,获得了宽谱段高透过率的结构参数。在制造层面,以“飞秒激光复刻成型”为核心思想,通过飞秒激光光场调控技术,辅以机器学习优化制造工艺,实现了超大口径增透窗口的高性能、高一致性制造。相较于传统分立式双探测窗口方案,本研究提出的双波段增透窗口在保持优异成像性能的同时,显著提升了探测系统的集成度与结构紧凑性,为新一代集成化红外探测系统的发展提供了重要技术路径(图2)。

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    图2. 中长波红外双波段增透窗口的工作机制。

    面对大面积增透微孔制造中效率与深径比难以兼顾、结构一致性不足的核心难题,本研究搭建了基于飞秒激光光场调制技术的制造系统(图3)。通过突发脉冲串技术,在保持每秒2万孔加工速率的同时,将微孔的深径比提升了7倍,突破了效率与质量的矛盾。针对窗口面型误差、平台运动误差以及环境因素导致的聚焦位置波动,利用贝塞尔光束构建宽容度极高的“加工走廊”,使微孔在8 μm的焦点偏移范围内形貌误差仍低于300 nm,保障了大幅面约70亿微孔的一致性。此外,还结合机器学习构建了工艺-性能预测模型(图4),大幅缩减了增透窗口的制造工艺迭代周期,实现了高性能增透窗口的高效、精准制造。

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    图3. 飞秒激光复刻成型技术制造高质量增透微孔。

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    图4. 机器学习技术辅助增透窗口的性能预测和制造工艺优化

    双波段增透窗口在光学性能、环境耐久性及实际成像应用中均展现出卓越表现(图5)。测试结果表明,双波段增透窗口具有超宽带(3.5–14 μm)和高透射性能(最高91.1%),显著超越了未处理的硫化锌基底(~75%)。此外,增透微结构还赋予了窗口表面优异的自清洁特性、耐磨损和抗干扰(如灰尘、水雾、热冲击)能力,确保了其在恶劣工况下的长效稳定运行。在红外成像应用中(图6),双波段成像“强强联合”,实现了信息互补。在存在遮挡物、雨雾天气等复杂条件下,仍然具有较高的目标识别精度,充分验证了双波段增透窗口在提升红外探测性能方面的巨大潜力。

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    图5. 双波段增透窗口的光学透过率、自清洁、耐磨性及抗干扰性能测试。

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    图6. 在极端复杂环境中,双波段增透窗口的红外成像应用。

     

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